河北工业科技

1989, (01) 29-33

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DSW光刻机中的最短时间自动对准系统
The Time-optimal Auto-alignment System in DSW Photolithographic Process

王文平;刘永强;罗培成;王彦池;

摘要(Abstract):

本文研究了最短时问控制系统在 DSW 光刻机自动对准系统中的应用问题。研究结果表明,这种控制系统能很好地满足系统的性能指标,其对准时间很短,t_s≤0.14秒,并且具有较高的对准精度,σ≤0.01μm(微米)

关键词(KeyWords): 自动对准系统;最短时间控制;动态规划

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 王文平;刘永强;罗培成;王彦池;

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